Alarm系統(tǒng)通過(guò)對(duì)設(shè)備的報(bào)警信息進(jìn)行記錄分析，并根據(jù)設(shè)定的Alarm頻率觸發(fā)規(guī)則，Repeat Alarm觸發(fā)Hold Equipment、Hold Lot及操作，同時(shí)可通過(guò)E-mail/短信等方式及時(shí)提醒。Alarm系統(tǒng)還可以監(jiān)控設(shè)備報(bào)警數(shù)據(jù)，做到提前預(yù)警、及時(shí)檢修，提高設(shè)備利用率；